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发明公开
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN MIT PLANAREN ODER GEFORMTEN OBERFLÄCHEN MITTELS MAGNETRON-SPUTTERN 审中-公开

公开(公告)号：EP3953499A1

公开(公告)日：2022-02-16

申请号：EP20716175.3

申请日：2020-04-09

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： VERGÖHL, Michael , PFLUG, Andreas , BRUNS, Stefan , KAISER, André , MELZIG, Thomas , ZICKENROTT, Tobias

IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/50 , C23C14/54