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发明公开
VACUUM CHAMBER SEAL 审中-公开

公开(公告)号：EP4094274A1

公开(公告)日：2022-11-30

申请号：EP21702078.3

申请日：2021-01-22

申请人： First Light Fusion Limited

发明人： HOLLIGAN, Paul , PARKIN, James , DARLING, Jamie , CABALLERO BENDIXSEN, Luis , HALL, Oliver

IPC分类号： G21B1/17 , H05H7/14 , H01J5/32 , H01J5/46 , H01J9/32 , H01R13/53 , H01B17/26