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公开(公告)号：EP0938251A3
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：EP99102070.2
申请日：1999-02-02
IPC分类号： H05H3/02
CPC分类号： H05H3/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases, mit einem Rohr (1), das an seinem einen Ende an eine Gasquelle (2) anschließbar ist und an seinem anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung (3) aufweist, und einer Heizvorrichtung (4), um das Rohr (1) zu erwärmen, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß die Heizvorrichtung (4) wenigstens einen Heizdraht (5) zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wärmestrahlung aufweist und der Heizdraht (5) das Rohr (1) im Bereich der Gasaustrittsöffnung (3) unter Herstellung eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit Abstand umgibt.
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公开(公告)号：EP0938251A2
公开(公告)日：1999-08-25
申请号：EP99102070.2
申请日：1999-02-02
IPC分类号： H05H3/02
CPC分类号： H05H3/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases, mit einem Rohr (1), das an seinem einen Ende an eine Gasquelle (2) anschließbar ist und an seinem anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung (3) aufweist, und einer Heizvorrichtung (4), um das Rohr (1) zu erwärmen, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß die Heizvorrichtung (4) wenigstens einen Heizdraht (5) zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wärmestrahlung aufweist und der Heizdraht (5) das Rohr (1) im Bereich der Gasaustrittsöffnung (3) unter Herstellung eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit Abstand umgibt.
摘要翻译： 该装置包括一个在一端连接有气源（2）的簧片（1），其另一端包括气体输出孔（3）和用于加热簧片的加热装置（4）。 加热装置包括至少一个围绕簧片的加热丝（5），并且仅在气体输出孔的区域中接触，提供电接触。
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