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公开(公告)号:EP2671115B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:EP12708558.7
申请日:2012-01-30
发明人: GILBERT, Joël , CARDI, Philippe , TASSE, Rémy
IPC分类号: G02F1/1333 , G02B3/00 , H01L31/048 , H01L31/054 , G02F1/1335 , G02F1/133 , H01L31/0468
公开(公告)号:EP2671115B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:EP12708558.7
申请日:2012-01-30
发明人: GILBERT, Joël , CARDI, Philippe , TASSE, Rémy
IPC分类号: G02F1/1333 , G02B3/00 , H01L31/048 , H01L31/054 , G02F1/1335 , G02F1/133 , H01L31/0468