公开(公告)号：EP2246573B1

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：EP10161376.8

申请日：2010-04-28

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/02 ,  F04D29/42 ,  F04B37/08

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04B37/08 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/4206

公开(公告)号：EP2264342A3

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：EP10165627.0

申请日：2010-06-11

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F16K1/24

摘要： Ein Plattenventil (11) weist ein Gehäuse (13) mit einem ersten Anschlussflansch (15) mit einer ersten Öffnung (17) für die Verbindung zu einer Saugseite einer Pumpe und einem zweiten Anschlussflansch (19) mit einer zweiten Öffnung (21) für den für die Verbindung des Ventils mit einer zu evakuierenden Kammer auf. Des Weiteren ist an dem Gehäuse (13) ein Ventilsitz (23), welcher auf der der ersten Öffnung (17) abgewandten Seite des ersten Anschlussflansches (15) vorgesehen. Innerhalb des Gehäuses befindet sich eine Ventilplatte (25), welche mit dem Ventilsitz (23) zusammenwirken kann und eine Betätigungseinrichtung (33), welche mit der Ventilplatte (25) in Verbindung steht. Die Betätigungseinrichtung (33) ermöglicht, zum Öffnen des Ventils die Ventilplatte (25) vom Ventilsitz (23) abzuheben und zum Schliessen des Ventils die Ventilplatte (25) an den Ventilsitz (23) zu drücken. Beim Öffnen des Ventils erfolgt in einem ersten Schritt ein Anheben der Ventilplatte (25) und in einem zweiten Schritt ein Verschwenken der Ventilplatte (25). Beim Schliessen des Ventils ist die Ventilplatte (25) zuerst verschwenkt und in einem zweiten Schritt wird die Ventilplatte (25) an den Ventilsitz (23) gelegt. An dem Gehäuse (13) ist ein dritter Anschlussflansch (39) vorgesehen, an welchem die Betätigungseinrichtung (33) angeordnet ist. Der dritte Anschlussflansch (39) ist mit der Betätigungseinrichtung (33) axial gegenüber dem ersten Anschlussflansch (15) angeordnet.

公开(公告)号：EP2264342B1

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：EP10165627.0

申请日：2010-06-11

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F16K1/24

公开(公告)号：EP2246573A3

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：EP10161376.8

申请日：2010-04-28

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/02 ,  F04D29/42 ,  F04B37/08

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04B37/08 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/4206

摘要： Eine Schutzvorrichtung für Hochvakuumpumpen, insbesondere für Turbomolekularpumpen, vor schädlichen, insbesondere vor kondensierbaren Gasen umfasst ein Rohrstück (13)mit einem eine erste Öffnung (16) aufweisenden ersten Anschlussflansch (15) und einem eine zweite Öffnung (18) aufweisenden zweiten Anschlussflansch (17). Die Anschlussflansche (15,17) sind durch einen einen Durchgang (21) definierenden Rohrabschnitt miteinander verbunden. Zwischen dem ersten und zweiten Anschlussflansch (17) ist ein eine dritte Öffnung (20) aufweisenden dritter Anschlussflansch (19) vorgesehen. In einem Rohrabschnitt mit erweiterten Querschnittsbereich (33) ist eine Mehrzahl von in Abstand voneinander angeordneten Umlenkblechen (23) angeordnet.

公开(公告)号：EP2264342A2

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：EP10165627.0

申请日：2010-06-11

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F16K1/24

摘要： Ein Plattenventil (11) weist ein Gehäuse (13) mit einem ersten Anschlussflansch (15) mit einer ersten Öffnung (17) für die Verbindung zu einer Saugseite einer Pumpe und einem zweiten Anschlussflansch (19) mit einer zweiten Öffnung (21) für den für die Verbindung des Ventils mit einer zu evakuierenden Kammer auf. Des Weiteren ist an dem Gehäuse (13) ein Ventilsitz (23), welcher auf der der ersten Öffnung (17) abgewandten Seite des ersten Anschlussflansches (15) vorgesehen. Innerhalb des Gehäuses befindet sich eine Ventilplatte (25), welche mit dem Ventilsitz (23) zusammenwirken kann und eine Betätigungseinrichtung (33), welche mit der Ventilplatte (25) in Verbindung steht. Die Betätigungseinrichtung (33) ermöglicht, zum Öffnen des Ventils die Ventilplatte (25) vom Ventilsitz (23) abzuheben und zum Schliessen des Ventils die Ventilplatte (25) an den Ventilsitz (23) zu drücken. Beim Öffnen des Ventils erfolgt in einem ersten Schritt ein Anheben der Ventilplatte (25) und in einem zweiten Schritt ein Verschwenken der Ventilplatte (25). Beim Schliessen des Ventils ist die Ventilplatte (25) zuerst verschwenkt und in einem zweiten Schritt wird die Ventilplatte (25) an den Ventilsitz (23) gelegt. An dem Gehäuse (13) ist ein dritter Anschlussflansch (39) vorgesehen, an welchem die Betätigungseinrichtung (33) angeordnet ist. Der dritte Anschlussflansch (39) ist mit der Betätigungseinrichtung (33) axial gegenüber dem ersten Anschlussflansch (15) angeordnet.

摘要翻译： 阀（11）具有设置在连接凸缘（15）的一侧的阀座（23）和与阀座配合并形成为向内弯曲的盖的阀板（25）。 操作装置（33）能够将阀板从阀座提起以打开阀门，并能够在阀座处按压阀板以关闭阀门。 操作装置布置在另一连接凸缘（39）上，该连接凸缘（39）与前凸缘轴向相对布置。 操作装置由可沿位移方向（36）直线移动的致动器（35）形成。

公开(公告)号：EP2246573A2

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：EP10161376.8

申请日：2010-04-28

申请人： HSR AG

发明人： Kohler, Marcel ,  Vogt, Herbert ,  Frick, Urs

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/02 ,  F04D29/42

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04B37/08 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/4206

摘要： Eine Schutzvorrichtung für Hochvakuumpumpen, insbesondere für Turbomolekularpumpen, vor schädlichen, insbesondere vor kondensierbaren Gasen umfasst ein Rohrstück (13)mit einem eine erste Öffnung (16) aufweisenden ersten Anschlussflansch (15) und einem eine zweite Öffnung (18) aufweisenden zweiten Anschlussflansch (17). Die Anschlussflansche (15,17) sind durch einen einen Durchgang (21) definierenden Rohrabschnitt miteinander verbunden. Zwischen dem ersten und zweiten Anschlussflansch (17) ist ein eine dritte Öffnung (20) aufweisenden dritter Anschlussflansch (19) vorgesehen. In einem Rohrabschnitt mit erweiterten Querschnittsbereich (33) ist eine Mehrzahl von in Abstand voneinander angeordneten Umlenkblechen (23) angeordnet.

摘要翻译： 设备（11）具有通过限定通道（21）的管段彼此连接的两个连接凸缘（15,17）。 第三连接凸缘（20）设置在通道中的第一和第二连接凸缘之间。 挡板（23）彼此间隔一定距离。 挡板布置在管段的扩展横截面积（33）中，并且布置成距离第三连接凸缘一定距离。 截面积设有用于接收挡板的管段。 还包括用于保护高真空泵免于可冷凝蒸汽的方法的独立权利要求。