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1.Interferometric signal conditioner for measurement of displacements of a Fabry-Pérot interferometer 有权
标题翻译: 用于测量的法布里 - 珀罗干涉仪的位移干涉信号调节器公开(公告)号:EP1598635B1
公开(公告)日:2016-10-19
申请号:EP05252344.6
申请日:2005-04-15
CPC分类号: G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/0209 , G01B2290/25 , G01B2290/45