公开(公告)号：EP0973020A1

公开(公告)日：2000-01-19

申请号：EP99113140.0

申请日：1999-07-07

申请人： Heraeus Electro-Nite International N.V.

发明人： Dietmann, Stefan ,  Baerts, Christian ,  Sander, Margit ,  Wienand, Karlheinz, Dr.

IPC分类号： G01K7/18

CPC分类号： G01K7/183

摘要： Ein elektrischer Temperatur-Sensor weist eine Platin enthaltende Widerstandsschicht als Meßwiderstand auf, welche auf der elektrisch isolierenden Oberfläche eines Keramik-Substrats aufgebracht ist; zum Schutz gegen Kontamination oder Beschädigung ist die Widerstandsschicht auf ihrer dem Keramik-Substrat abgewandten Seite mit einer Zwischenschicht als Diffusionssperrschicht versehen.
In einer ersten Ausführungsform ist auf die Zwischenschicht im Abstand zur Widerstandsschicht eine Platinschicht als Elektrode aufgebracht, die den Meßwiderstand gegen Platingifte - wie vagabundierende Siliziumionen - schützt, die beispielsweise aus einer Passivierungsschicht aus Glas austreten können.
In einer zweiten Ausführungsform ist der elektrische Temperatur-Sensor mit einer Mehrfachsschicht versehen, wobei auf die Zwischenschicht eine Deckschicht als Passivierungsschicht aus Glas aufgebracht ist; auch bei dieser Ausführungsform kann eine Elektrode in Form einer Platinschicht im Abstand zur Widerstandsschicht aufgebracht werden.
Die als Diffusionssperrschicht dienende Zwischenschicht besteht aus einer Keramik, die Al 2 O 3 , M g O oder Tantaloxid aufweist; weiterhin ist es auch möglich, eine Zwischenschicht aus einem Schichtsystem mit einer Schichtenfolge von mehreren Oxiden einzusetzen.

摘要翻译： 电温度传感器在铂电阻层（1）上具有作为扩散阻挡层的中间层（10）。 电极（4）在电阻层（1）的远离陶瓷基板表面（2）的一侧以一定距离布置。 还包括用于生产传感器的方法的独立权利要求，包括将薄层形式的铂电阻层施加到陶瓷衬底（2）的电绝缘表面上并构造，然后施加扩散阻挡层 （10），然后在与电阻层（1）一定距离处施加导电层作为电极（4）。