公开(公告)号：EP3608624A1

公开(公告)日：2020-02-12

申请号：EP18187566.7

申请日：2018-08-06

申请人： Hexagon Technology Center GmbH

发明人： ROHNER, Marcel ,  BAUMANN, Lukas ,  REITERER, Michael ,  ISELI, Claudio ,  TARIZZO, Alberto

IPC分类号： G01B7/14

摘要： Kapazitiver Distanzsensor (4, 4y1, 4y2, 4z) zur Bestimmung von Distanzen (d, dy1, dy2, dz) zu einem Objekt (17, 50), wobei der Distanzsensor (4, 4y1, 4y2, 4z) wenigstens eine Sensorelektrode (5) und wenigstens eine Kompensationselektrode (1, 2, 2a, 2b, 3) aufweist. Mittels der Kompensationselektrode (1, 2, 2a, 2b, 3) sind dabei Abweichungen von einer idealen parallelen Ausrichtung von Distanzsensor (4, 4y1, 4y2, 4z) zu Objekt (50) und/oder Fehler aufgrund kapazitiver Randeffekte kompensierbar.