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1.发明授权Electrostatic discharge control during the removal of contaminants from surfaces by means of a jet spray 失效使用喷射流从表面去除污染物的过程中的静电放电的控制
公开(公告)号：EP0590495B1
公开(公告)日：1997-05-14
申请号：EP93115274.8
申请日：1993-09-22
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2.发明公开Electrostatic discharge control during the removal of contaminants from surfaces by means of a jet spray 失效从使用喷射流的表面除去污染物的过程中静电放电的控制。
公开(公告)号：EP0590495A2
公开(公告)日：1994-04-06
申请号：EP93115274.8
申请日：1993-09-22
摘要： Apparatus (10) and method adapted for use in removing trace contaminants from the surface of a chosen substrate, such as delicate surfaces or precision parts, by application of a stream or jet spray of expanded fluid to the substrate surface, and controll of the electrostatic charges generated on or near the substrate surface during the cleaning process.
摘要翻译： 装置（10）和方法适于用在从所选择的基板，彩色的表面除去痕量污染物：如精细的表面或精密零件，通过膨胀的流体，以在基板表面的流或射流喷射的应用，和静电的控制研究 费用上或附近在清洁过程中的表面基片产生。
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3.发明公开
公开(公告)号：EP0732150A1
公开(公告)日：1996-09-18
申请号：EP96100292.0
申请日：1996-01-10
CPC分类号： B24C7/0053 , B05B1/005 , B05B12/08 , B08B7/02 , B24C1/003
摘要： Optical sensing apparatus (10) for use with a CO 2 jet spray nozzle (16) that sprays a plume (15). The apparatus (10) comprises a coherent light source (11) that provides a light beam (11a). A photodiode (12) is disposed such that it detects the light beam (11a) emitted by the coherent light source (11) that passes through the plume (15) sprayed by the CO 2 jet spray nozzle (16). A bandpass filter (13) is disposed between the photodiode (12) and the coherent light source (11) that only passes light produced by the coherent light source (11). A controller (17) coupled to the coherent light source (11) and the photodiode (12) that comprises a power supply (26) for providing power to the coherent light source (11) and the photodiode (12). The controller (17) includes a digital voltmeter (22) coupled to the photodiode (12) for displaying a voltage output signal corresponding to the amount of light energy detected by the photodiode (12), and a go/no-go indicator (21) for providing an indication of CO 2 snow production.
摘要翻译： 用于喷射羽流（15）的二氧化碳喷射喷嘴（16）的光学传感装置（10）。 设备（10）包括提供光束（11a）的相干光源（11）。 光电二极管（12）被设置成使得其检测通过由CO 2喷射喷嘴（16）喷射的羽流（15）的相干光源（11）发射的光束（11a）。 带通滤波器（13）设置在仅通过由相干光源（11）产生的光的光电二极管（12）和相干光源（11）之间。 耦合到相干光源（11）和光电二极管（12）的控制器（17），其包括用于向相干光源（11）和光电二极管（12）提供功率的电源（26）。 控制器（17）包括耦合到光电二极管（12）的数字电压表（22），用于显示对应于由光电二极管（12）检测的光能量的电压输出信号，以及去/禁止指示器 ），用于提供二氧化碳积雪的指示。
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4.发明公开Electrostatic discharge control during the removal of contaminants from surfaces by means of a jet spray 失效通过喷射喷射从表面去除污染物时的静电放电控制
公开(公告)号：EP0590495A3
公开(公告)日：1994-06-01
申请号：EP93115274.8
申请日：1993-09-22
摘要： Apparatus (10) and method adapted for use in removing trace contaminants from the surface of a chosen substrate, such as delicate surfaces or precision parts, by application of a stream or jet spray of expanded fluid to the substrate surface, and controll of the electrostatic charges generated on or near the substrate surface during the cleaning process.
摘要翻译： 用于通过将膨胀流体的流或喷射喷雾施加到基底表面上并用于控制静电的装置（10）和方法，用于从所选择的基底的表面（例如精细的表面或精密部件）去除痕量污染物 在清洁过程中在基板表面上或附近产生的电荷。
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