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发明公开
DEVICE, METHOD AND SYSTEM TO SENSE VOLTAGES AT SAMPLE POINTS OF RESPECTIVE INTERCONNECT STRUCTURES 审中-公开

公开(公告)号：EP4275059A1

公开(公告)日：2023-11-15

申请号：EP21916743.4

申请日：2021-01-06

申请人： INTEL Corporation

发明人： LIANG, Xiaoguo , YAHYAEI-MOAYYED, Farzaneh , HAIDER, Nazar , AHUJA, Nishi , YAN, Jie , GALICIA, Julio C. Cinco

IPC分类号： G01R19/10