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发明公开
HIGH UNIFORMITY TELECENTRIC ILLUMINATOR 审中-公开

公开(公告)号：EP4323825A1

公开(公告)日：2024-02-21

申请号：EP22788745.2

申请日：2022-04-12

申请人： Innovations in Optics, Inc.

发明人： BRUKILACCHIO, Thomas John , PIERCE, David

IPC分类号： G02B13/22 , G02B21/16 , G02B26/08 , G21K1/06