公开(公告)号：EP0101914B1

公开(公告)日：1987-01-07

申请号：EP83107255.8

申请日：1983-07-23

申请人： Institut Dr. Friedrich Förster Prüfgerätebau GmbH & Co. KG

发明人： Stumm, Wolfgang, Dr.

IPC分类号： G01N35/00

CPC分类号： G01N29/26 ,  G01N27/9013

公开(公告)号：EP0101914A3

公开(公告)日：1985-04-24

申请号：EP83107255

申请日：1983-07-23

申请人： Institut Dr. Friedrich Förster Prüfgerätebau GmbH & Co. KG

发明人： Stumm, Wolfgang, Dr.

IPC分类号： G01N35/00 ,  G01N27/90

CPC分类号： G01N29/26 ,  G01N27/9013

公开(公告)号：EP0101914A2

公开(公告)日：1984-03-07

申请号：EP83107255.8

申请日：1983-07-23

申请人： Institut Dr. Friedrich Förster Prüfgerätebau GmbH & Co. KG

发明人： Stumm, Wolfgang, Dr.

IPC分类号： G01N35/00

CPC分类号： G01N29/26 ,  G01N27/9013

摘要： Bei der oszillierenden Abtastung der Oberfläche eines in einer ersten Richtung mit der Geschwindigkeit V t voranbewegten Teiles 14 durch einen Abtastkopf 44 soll die Abtastung der Oberfläche in äquidistanten parallelen Zeilen 82, 84 erfolgen, die im wesentlichen senkrecht zur ersten Richtung verlaufen. Dazu läßt man die oszillierende Bewegung des Abtastkopfes 44 einen Winkel a mit einer Senkrechten auf die erste Richtung bilden, und zwar den Winkel +a bei der Hinbewegung und -a bei der Herbewegung, wobei ist.

摘要翻译： 在振荡扫描向前通过一个扫描头44的面的等距平行线82的扫描应使84，其基本上延伸在第一方向上以速度Vt的部分14移动的表面垂直于所述第一方向。 为了这个目的，允许扫描头44的摆动运动形成具有垂直于所述第一方向的线的角度α，并且该角度+α与向前运动，并在运动-α，其中