公开(公告)号：EP2346051A1

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：EP11000215.1

申请日：2011-01-13

申请人： Integrated Dynamics Engineering

发明人： Evers, Arndt ,  Tillmann, Ralf, Dr.

IPC分类号： H01F7/06

CPC分类号： H01F7/066 ,  F16F15/023 ,  F16F15/03 ,  H01F7/0221 ,  H01F7/127

摘要： Die Erfindung betrifft einen Magnetaktor, bei welchem die Permanentmagnete in Halbach-Konfiguration angeordnet sind und in einen Einschubrahmen geschoben werden.

摘要翻译： 磁体致动器（1）具有两个侧部，其中具有不同磁化方向的两个永磁体（2）以halbach构型。 线圈以这样的方式布置在侧部之间，使得线圈相对于侧部可移动。 当线圈被致动时，侧部和线圈之间的力产生。 永磁体被保持在设置有设置在一系列磁体之间的杆（4）的插入式齿条（3）中。 侧部设置有与插入架连接的固定板（8）。 包括以下独立权利要求：（1）振荡绝缘系统; 和（2）组装磁铁执行机构的方法。

公开(公告)号：EP1463107B1

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：EP04007053.4

申请日：2004-03-24

申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

发明人： Heiland, Peter ,  Tillmann, Ralf, Dr.

IPC分类号： H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S414/141

公开(公告)号：EP2346051B1

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：EP11000215.1

申请日：2011-01-13

申请人： Integrated Dynamics Engineering

发明人： Evers, Arndt ,  Tillmann, Ralf, Dr.

IPC分类号： H01F7/06 ,  F16F15/023 ,  F16F15/03 ,  H01F7/02 ,  H01F7/127

CPC分类号： H01F7/066 ,  F16F15/023 ,  F16F15/03 ,  H01F7/0221 ,  H01F7/127

公开(公告)号：EP1463107A3

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：EP04007053.4

申请日：2004-03-24

申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

发明人： Heiland, Peter ,  Tillmann, Ralf, Dr.

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S414/141

摘要： Die Erfindung ist eine Vorrichtung zur Annahme und Übertragung von zumindest einem scheibenartigen Element. Die Vorrichtung umfasst einen Aufgreif- und Platzierungs-Mechanismus einschließlich Greifmitteln. Der Mechanismus ist effectiv dafür ausgelegt, Aufgreif- und/oder Platzierungszyklen bereitzustellen, wobei er während des Betriebs eine Bewegung des Greifmittels zwischen einer oberen und einer unteren Position und umgekehrt vorsieht, wobei das Greifmittel in der unteren Position entweder das scheibenartige Element aus einer Ladeposition aufgreift oder das scheibenartige Element in der Ladeposition platziert.

摘要翻译： 对于圆形半导体晶片处理系统具有在电动机（101）容纳在壳体（102）的驱动机构（100）。 该外壳具有带有开口的圆柱形侧壁（102A，B）。 在工业机器人的把持机构具有两个夹臂（107A，B）具有延伸的腿（115A，116A）穿过在壳体中的开口。 辊（108A，B）处的盘（104）的边缘上的凸缘（104A）上的凸轮表面（103A，B）运行延伸腿的端部。 延伸腿是弹簧加载的（109A，B）向所述凸轮。 腿的另一端部具有夹持构件，其接合的半导体晶片（118）的边缘，并且可以将它的支撑构件（120）上。

公开(公告)号：EP1463107A2

公开(公告)日：2004-09-29

申请号：EP04007053.4

申请日：2004-03-24

申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

发明人： Heiland, Peter ,  Tillmann, Ralf, Dr.

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S414/141

摘要： Die Erfindung ist eine Vorrichtung zur Annahme und Übertragung von zumindest einem scheibenartigen Element. Die Vorrichtung umfasst einen Aufgreif- und Platzierungs-Mechanismus einschließlich Greifmitteln. Der Mechanismus ist effectiv dafür ausgelegt, Aufgreif- und/oder Platzierungszyklen bereitzustellen, wobei er während des Betriebs eine Bewegung des Greifmittels zwischen einer oberen und einer unteren Position und umgekehrt vorsieht, wobei das Greifmittel in der unteren Position entweder das scheibenartige Element aus einer Ladeposition aufgreift oder das scheibenartige Element in der Ladeposition platziert.

摘要翻译： 本发明是用于接收和传送至少一个盘状元件的装置。 该装置包括一个Aufgreif-和放置机构，其包括抓持装置。 该机制有效实现了适于Aufgreif-和/或提供放置周期，把持的移动的操作期间，其中它的上部和下部位置之间，反之亦然装置提供，其中所述夹紧装置在底部位置从装载位置占用任一状部件盘 放置或圆盘状部件在装载位置。