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公开(公告)号:EP4162092A1
公开(公告)日:2023-04-12
申请号:EP21728948.7
申请日:2021-06-04
申请人: Ionics SA
发明人: MONTEVERDE, Fabien , GODFROID, Thomas , LANGER, Luc , RENAUX, Fabian
IPC分类号: C23C14/48 , H01L27/00 , H01L29/00