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发明公开
MICRO-LENS ARRAY FOR METAL-CHANNEL PHOTOMULTIPLIER TUBE 审中-实审

公开(公告)号：EP4423793A2

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP23850560.6

申请日：2023-03-29

申请人： KLA Corporation

发明人： DONDERS, Paul , MACKAY, Derek

IPC分类号： H01J43/18

CPC分类号： H01J43/18