公开(公告)号：EP4374222A1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP22754795.7

申请日：2022-07-19

申请人： Koninklijke Philips N.V.

发明人： PETIT, Didier, Mathijs, Maria, Justina ,  SOETENS, Johannes, Balthasar, Maria ,  VERSCHUUREN, Marcus, Antonius ,  JANSSEN, Maurice, Leonardus, Johannes

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G03F7/70733

公开(公告)号：EP4374224A1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP22754797.3

申请日：2022-07-19

申请人： Koninklijke Philips N.V.

发明人： VERSCHUUREN, Marcus, Antonius ,  PETIT, Didier, Mathijs, Maria, Justina ,  WIJNEN, Merijn ,  JANSSEN, Maurice, Leonardus, Johannes

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G03F7/70733

公开(公告)号：EP4374223A1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP22754796.5

申请日：2022-07-19

申请人： Koninklijke Philips N.V.

发明人： PETIT, Didier, Mathijs, Maria, Justina ,  VERSCHUUREN, Marcus, Antonius ,  BARENDT, Jens, Udo

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G03F7/70733