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1.发明公开
公开(公告)号：EP2857138A1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：EP13187154.3
申请日：2013-10-02
IPC分类号： B23K26/00
CPC分类号： B23K26/0081 , B23K26/0084
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeugung überwölbter Mikrostrukturen (22, 22'), umfassend die Schritte:
- Bereitstellen eines Trägersubstrats (10), auf dem eine zu strukturierende Hartschicht (12) und darüber eine Confinement-Schicht (14) aufgebracht ist,
- Bestrahlen der Hartschicht (12) mit einem Strukturierungs-Puls räumlich mikrostrukturierten Laserlichtes einer vorbestimmten Strukturierungs-Fluenz und einer Strukturierungs-Wellenlänge, für die die Hartschicht (12) einen Absorptionskoeffizienten von mindestens 10 4 cm -1 hat,.
Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Schichtdicke der Hartschicht kleiner ist als die Energiewirkungstiefe des Strukturierungs-Pulses und das Verhältnis der Strukturierungs-Fluenz zur Schichtdicke der Hartschicht dem 2- bis 10-fachen des Verhältnisses der Aufschmelzmindestfluenz der Hartschicht zur Energiewirkungstiefe entspricht,
wobei die Aufschmelzmindestfluenz diejenige Fluenz ist, die erforderlich ist, um mit einem ansonsten gleichartigen Laserpuls eine ansonsten gleichartige Hartschicht, deren Schichtdicke der Energiewirkungstiefe entspricht, bis zu deren Schmelztemperatur zu erwärmen.摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造拱形微结构（22，22“），包括以下步骤： - 提供支撑基板（10），其上是要被图案化硬质层（12），并且还施加的限制层（14） - 照射所述硬层（12）配有一个纹理化脉冲的预定图案形成的微结构化空间激光，和图案化通量波长其中硬层（12）具有至少10 4 cm -1以下的吸收系数。 本发明的特征在于，所述硬质层的层厚度小于所述纹理化脉冲的冲击深度的能量和图案化能量密度的硬质层的层厚度的对应于硬质保护膜的Aufschmelzmindestfluenz的比率的2至10倍至动作的能量深度的比率，其中 的Aufschmelzmindestfluenz是注量是必需的，在其他方式类似的硬质层的其他方面相同的激光脉冲，其层厚度相当于动作的能量深度加热到其熔化温度。
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公开(公告)号：EP2857138B1
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：EP13187154.3
申请日：2013-10-02
IPC分类号： B23K26/00
CPC分类号： B23K26/0081 , B23K26/0084
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