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发明授权
BIMORPH PIEZOELECTRIC DEVICE FOR ACCELERATION SENSOR AND METHOD OF ITS MANUFACTURE 失效
标题翻译： BILAMINARES压电元件，用于其生产的加速度计和方法

公开(公告)号：EP0932044B1

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：EP98931044.6

申请日：1998-07-10

申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.

发明人： NISHIHARA, Kazunari , KUBOTA, Kiyotomo , TAJIKA, Hirohumi , NOMURA, Koji , SHIMAMURA, Tetsuro , SASAKI, Yukinori , YAMAGUCHI, Masako

IPC分类号： G01P15/09 , G01L9/08 , G01L1/16 , H01L41/22

CPC分类号： H01L41/1132 , B06B1/0603 , G01P15/0802 , G01P15/0922