公开(公告)号：EP0507129A1

公开(公告)日：1992-10-07

申请号：EP92104278.4

申请日：1992-03-12

申请人： MERCK PATENT GmbH

发明人： Pohl, Ludwig, Dr. ,  Schumann, Herbert, Dr. ,  Wassermann, Wilfried, Dr. ,  Hartmann, Uwe, Dr. ,  Seuss, Thomas, Dr.

IPC分类号： C07F5/00 ,  C07F5/06 ,  C23C16/30 ,  C07F9/50 ,  C07F9/66 ,  C07F9/90

CPC分类号： C07F9/5045 ,  C07F5/00 ,  C07F5/062 ,  C07F5/066 ,  C07F9/703 ,  C07F9/908 ,  Y10S526/943

摘要： Die Erfindung betrifft metallorganische Verbindungen der Elemente Al, Ga und In, die zweifach intramolekular stabilisiert sind, sowie deren Verwendung zur Herstellung dünner Filme und epitaktischer Schichten durch Abscheidung aus der flüssigen oder festen Phase.

摘要翻译： 本发明涉及一种元素Al，Ga和In，它们双重分子内稳定化以及它们用于生产薄膜和外延层的通过沉积从液相或固相的使用有机金属化合物。