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公开(公告)号:EP1219933B1
公开(公告)日:2006-06-14
申请号:EP01130917.6
申请日:2001-12-27
申请人: MICRO EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG
发明人: Mednikov, Felix Matveevich , Mednikov, Stanislav Felixovich , Nechaevsky, Mark Lazarevich
IPC分类号: G01D5/22
CPC分类号: G01D5/2225