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发明公开
APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL INSULATION OF HIGH-TEMPERATURE PRESSURE SENSORS 审中-公开

公开(公告)号：EP3814738A1

公开(公告)日：2021-05-05

申请号：EP19825807.1

申请日：2019-06-20

申请人： MKS Instruments, Inc.

发明人： SHAMASH, Orry , LUDWISZEWSKI, Alan , PERCY, Clinton L. , MANDADZHIEV, Boris

IPC分类号： G01L19/06 , G01L19/00 , G01L19/14