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1.
公开(公告)号:EP3732706A1
公开(公告)日:2020-11-04
申请号:EP18896446.4
申请日:2018-12-14
IPC分类号: H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/528 , H01L27/11556 , H01L27/11582
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2.
公开(公告)号:EP4111501A1
公开(公告)日:2023-01-04
申请号:EP21759920.8
申请日:2021-02-10
发明人: ZHAO, Bo , LOMELI, Nancy M. , XU, Lifang , OLSON, Adam L.
IPC分类号: H01L27/11551 , H01L27/11548 , H01L27/11575 , H01L27/11578 , H01L25/065 , G06F3/06
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