公开(公告)号：EP3559999A1

公开(公告)日：2019-10-30

申请号：EP17828790.0

申请日：2017-12-21

申请人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO

发明人： GEERLIGS, Lambert Johan ,  KOPPES, Martien ,  WU, Yu ,  STODOLNY, Maciej Krzyszto ,  LENES, Martijn

IPC分类号： H01L31/0368 ,  H01L31/068 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0745

公开(公告)号：EP3685446A1

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：EP18812324.4

申请日：2018-09-24

申请人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO

发明人： STODOLNY, Maciej Krzyszto ,  ANKER, John ,  KOPPES, Martien ,  ROMIJN, Ingrid Gerdina ,  GEERLIGS, Lambert Johan

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/0745 ,  H01L31/18