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发明公开
NANOSTRUCTURE 审中-公开

公开(公告)号：EP3610518A1

公开(公告)日：2020-02-19

申请号：EP18717339.8

申请日：2018-04-10

申请人： Norwegian University of Science and Technology (NTNU)

发明人： FIMLAND, Bjørn Ove Myking , WEMAN, Helge , REN, Dingding

IPC分类号： H01L33/00 , H01L33/16 , H01L33/08 , H01L33/24