公开(公告)号：EP3177965A1

公开(公告)日：2017-06-14

申请号：EP15830329.7

申请日：2015-08-02

申请人： Orbotech Ltd.

发明人： KOTLER, Zvi ,  ZENOU, Michael ,  PELED, Itay

IPC分类号： G03F7/00 ,  C23C14/28 ,  B23K26/067

CPC分类号： B41J2/455 ,  B23K26/0676 ,  C23C14/04 ,  C23C14/28 ,  G03F7/2014

摘要： Printing apparatus (20) includes a donor supply assembly (30), which provides a transparent donor substrate (26) having opposing first and second surfaces and a donor film formed on the second surface so as to position the donor film in proximity a target area (28) on an acceptor substrate (22). An optical assembly (24) directs multiple output beams of laser radiation simultaneously in a predefmed spatial pattern to pass through the first surface of the donor substrate and impinge on the donor film so as to induce ejection of material from the donor film onto the acceptor substrate according, thereby writing the predefined pattern onto the target area of the acceptor substrate.

摘要翻译： 印刷设备（20）包括供体供应组件（30），其提供具有相对的第一和第二表面的透明供体基板（26）和形成在第二表面上的供体膜，以将供体膜定位在目标 区域（28）在受体衬底（22）上。 光学组件（24）以预定的空间图案同时引导激光辐射的多个输出光束以穿过供体基板的第一表面并撞击供体膜，从而诱导材料从供体膜喷射到受体基板上 从而将预定义的图案写入到受体衬底的目标区域上。