-
公开(公告)号：EP3636933A1
公开(公告)日：2020-04-15
申请号：EP19196742.1
申请日：2019-09-11
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer Temperatur mittels eines IR-Sensor-Systems, beispielsweise einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, bei dem eine erste Temperatur T obs,1 an einem Messort gemessen wird, eine Referenztemperatur T ref durch eine Wärmequelle an einem Referenzort erzeugt wird, eine zweite Temperatur T obs,2 an dem Referenzort gemessen wird, die zweite Temperatur T obs,2 mit einer aus der Referenztemperatur T ref resultierenden erwarteten Temperatur T exp verglichen wird, und bei einer Abweichung der zweiten Temperatur T obs,2 von der erwarteten Temperatur T exp die erste Temperatur T obs,1 anhand der Abweichung korrigiert wird.
-
公开(公告)号：EP3034882A3
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：EP15195879.0
申请日：2015-11-23
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
发明人： Hofmann, Bernd , Hofmann, Jan , Mekota, Mirko , Schnarr, Johannes , Schweighöfer, Michael , Stoll, Tobias , Vorwerk, Peter
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/044 , F04D25/0606
摘要： Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einem Pumpmechanismus zum Pumpen von Gas längs eines von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe verlaufenden Pumpkanals, wobei der Pumpkanal durch wenigstens einen ersten Spalt verläuft, in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe eine Pumpfunktion erfüllt wird, und wobei wenigstens ein zweiter Spalt vorgesehen ist, in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe keine Pumpfunktion erfüllt wird, wobei bevorzugt der Pumpkanal durch den zweiten Spalt verläuft, ist dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Spalt zumindest um einen Faktor, insbesondere 2-mal, 3-mal, 4-mal, 5-mal, 6-mal, 7-mal, 8-mal, 9-mal oder 10-mal, größer ist als der erste Spalt.
摘要翻译： 所述的真空泵，特别是涡轮分子泵，至少包括用于沿着从入口延伸至所述真空泵抽气通道的出口的路径抽气体泵送机构，泵通道延伸穿过至少其中真空泵的操作期间被执行泵送功能的第一间隙，并且其中 第二间隙至少设置，其中没有泵送功能的真空泵的操作期间实现的，优选的泵通道通过第二间隙延伸，其特征在于，所述第二间隙的至少一个因子，特别是2倍，3倍， 4次，5次，6次，7次，8次，9次或10次，大于第一次间隙。
-
公开(公告)号：EP2808549A1
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：EP14167613.0
申请日：2014-05-09
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/063 , F04D29/059
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor (10) und mit einem Drehlager (12), welches mit einem Betriebsmittel zu versorgen ist, zur drehbaren Unterstützung des Rotors, wobei der Rotor (10) einen, insbesondere konischen, Förderabschnitt (14) zur Förderung des Betriebsmittels zu dem Drehlager (12) aufweist,
wobei eine Förderpumpe (16) zur Förderung des Betriebsmittels und/oder ein Betriebsmittelspeicher (18) mit einem saugfähigen Speichermittel für das Betriebsmittel vorgesehen ist,
und wobei wenigstens ein Docht (20) vorgesehen ist, welcher mit dem Förderabschnitt (14) in Kontakt steht, um das von der Förderpumpe (16) und/oder von dem saugfähigen Speichermittel zur Verfügung gestellte Betriebsmittel in gewünschter Menge auf den Förderabschnitt (14) zu übertragen.摘要翻译： 一个真空泵包括一个转子和一个旋转轴承，为了转子的可旋转支撑而配备一个操作介质，其中转子具有输送部分，特别是一个锥形输送部分，用于将操作介质供给到 旋转剂。 提供输送泵用于输送操作介质和/或操作介质储存器，其具有用于操作介质的吸收剂存储装置。 此外，提供至少一个与输送部分接触的油绳，以将所需的输送泵和/或从吸收剂储存装置传送到输送段。
-
公开(公告)号：EP3657022A1
公开(公告)日：2020-05-27
申请号：EP18207784.2
申请日：2018-11-22
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
发明人： Huber, Peter , Schnarr, Johannes
摘要： Eine Vakuumpumpe ist versehen mit einem Gehäuse, darin einem Pumpenrotor und einem Pumpenstator, der relativ zum Pumpenrotor pumpwirksam angeordnet ist, einem Pumpeneinlass am einen Ende der Rotorwelle und mit einer Temperiervorrichtung für einen zu temperierenden Bereich. Die Temperiervorrichtung weist ein Peltierelement mit einer beim zu temperierenden Bereich liegenden ersten Temperierfläche, die temperierbar ist, und mit einer zweiten Temperierfläche, die komplementär zur ersten Temperierfläche temperierbar ist, auf. Das Peltierelement kann den Rotor in Umfangsrichtung umgebend ausgebildet sein. Es kann bidirektional betreibbar sein.
-
公开(公告)号：EP2894348A1
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：EP14195965.0
申请日：2014-12-02
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
发明人： Gilbrich, Sönke , Stammler, Herbert , Hofmann, Bernd , Schmitz, Miriam , Schnarr, Johannes , Schweighöfer, Michael
摘要： Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe, wobei die Statorscheibe sich teilringförmig in eine Ebene erstreckt, einen inneren Radius und einen äußeren Radius aufweist und eine Sicherungseinrichtung umfasst, mittels welcher die Statorscheibe zumindest gegen radiale Verschiebung in der Ebene relativ zu einem benachbart angeordneten Distanzring sicherbar ist.
摘要翻译： 本发明涉及一种用于涡轮分子泵的定子，其中所述定子的平面中部分地延伸的环形，具有一内半径和外半径，和一个安全装置包括装置，该装置的定子至少防止其相对于相邻布置的间隔环的平面中径向位移固定 是。
-
公开(公告)号：EP2808549B1
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：EP14167613.0
申请日：2014-05-09
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/063 , F04D29/059 , F16C33/66 , F16N7/12 , F16C19/06
-
公开(公告)号：EP3473858A1
公开(公告)日：2019-04-24
申请号：EP17196889.4
申请日：2017-10-17
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
IPC分类号： F04D19/04 , F16C33/66 , F04D27/02 , F04D29/059 , F04D29/063 , F16N7/14 , F16N7/36
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe (111), wobei die Vakuumpumpe zumindest einen Einlass (115), zumindest einen Auslass (117) und zumindest einen Rotor mit einer Rotorwelle (153) umfasst, die durch zumindest eine Lagereinheit (181), (183) drehbar gelagert ist, wobei die zumindest eine Lagereinheit ein Wälzlager (181) umfasst, wobei der Rotor durch eine Motoreinheit (125) zu einer Drehbewegung antreibbar ist und wobei die Motoreinheit mittels einer Steuereinheit (124) in einem lastfreien Betriebsmodus der Vakuumpumpe derart angesteuert wird, dass sich der Rotor mit einer Minimaldrehzahl dreht.
-
公开(公告)号：EP3034882A2
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：EP15195879.0
申请日：2015-11-23
申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
发明人： Hofmann, Bernd , Hofmann, Jan , Mekota, Mirko , Schnarr, Johannes , Schweighöfer, Michael , Stoll, Tobias , Vorwerk, Peter
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/044 , F04D25/0606
摘要： Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einem Pumpmechanismus zum Pumpen von Gas längs eines von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe verlaufenden Pumpkanals, wobei der Pumpkanal durch wenigstens einen ersten Spalt verläuft, in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe eine Pumpfunktion erfüllt wird, und wobei wenigstens ein zweiter Spalt vorgesehen ist, in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe keine Pumpfunktion erfüllt wird, wobei bevorzugt der Pumpkanal durch den zweiten Spalt verläuft, ist dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Spalt zumindest um einen Faktor, insbesondere 2-mal, 3-mal, 4-mal, 5-mal, 6-mal, 7-mal, 8-mal, 9-mal oder 10-mal, größer ist als der erste Spalt.
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够提供在真空泵运行期间克服低泵壳体温度和高气体负载的优点中的至少一个的真空泵，其可在高环境温度下使用，并且具有低消耗电力输出 解决方案：在具有至少一个泵机构的真空泵中，该泵机构用于沿着泵通道10将气体从入口70抽出到真空泵的出口，特别是涡轮分子泵，泵通道至少移动 一个第一间隙83a，83b，83c，并且在间隙中，在真空泵的操作期间施加泵送功能。 设置至少一个第二间隙85a，并且在间隙中，在真空泵的操作期间泵送功能不被施加，并且优选地，泵通道移动通过第二间隙。 至少某一因素，第二个间隙大于第一个间隙。选择图：图1
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
8 条记录 (耗时 0.009 秒)
