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发明公开
PRÄKURSORMATERIAL FÜR DIE HERSTELLUNG SILICIUMCARBIDHALTIGER MATERIALIEN 审中-公开

公开(公告)号：EP3877330A1

公开(公告)日：2021-09-15

申请号：EP19800991.2

申请日：2019-11-06

申请人： PSC Technologies GmbH

发明人： GREULICH-WEBER, Siegmund , KNAPPE, Paul , SCHLEICHER-TAPPESER, Rüdiger

IPC分类号： C01B32/963 , C04B35/573 , C04B35/622 , C04B35/626