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公开(公告)号:EP2589939B1
公开(公告)日:2020-03-18
申请号:EP11800958.8
申请日:2011-06-30
申请人: Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd.
发明人: FUKUI, Suguru , HATATANI, Teruki
IPC分类号: G01J1/44 , G01J1/02 , H01C7/02 , H01L37/00 , G08B13/191 , G01J5/34 , G01J1/46