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公开(公告)号:EP2003709B1
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:EP07011397.2
申请日:2007-06-11
发明人: Bothe, Michael , Mörbe, Stefan
IPC分类号: H01L41/107 , H01L41/04
CPC分类号: H01L41/044 , H01L41/107
公开(公告)号:EP2003709B1
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:EP07011397.2
申请日:2007-06-11
发明人: Bothe, Michael , Mörbe, Stefan
IPC分类号: H01L41/107 , H01L41/04
CPC分类号: H01L41/044 , H01L41/107