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发明公开
METHOD FOR ACCURATE HIGH-RESOLUTION MEASUREMENTS OF ASPHERIC SURFACES 有权
标题翻译：方法进行精确的高分辨率测量非球面

公开(公告)号：EP1869401A4

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：EP06749263

申请日：2006-04-05

申请人： QED TECHNOLOGIES INT INC

发明人： MURPHY PAUL E , MILADINOVIC DRAGISHA , FORBES GREG W , DEVRIES GARY M , FLEIG JON F

IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01J9/02 , G01M11/02

CPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01M11/025 , G01M11/0257 , G01M11/0271 , G01M11/0278