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公开(公告)号：EP2610652A3
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：EP12008465.2
申请日：2012-12-20
发明人： Bischoff, Martin , Mewes, Stefan
IPC分类号： G02B5/08
CPC分类号： G02B5/0858
摘要： Ein für einen Wellenlängenbereich von 0,4 - 12 µm ausgelegtes reflektierendes optisches Bauteil weist ein Substrat 4, eine die freie Oberfläche des Bauteils bildende Schutzschicht 10 und eine zwischen dem Substrat 4 und der Schutzschicht 10 angeordnete Metallschicht 8 auf, wobei die Metallschicht aus Al und/oder Au und/oder Ag besteht und wobei die Schutzschicht 10 eine hohe Packungsdichte ≥ 0,95 aufweist.
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公开(公告)号：EP2610652A2
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：EP12008465.2
申请日：2012-12-20
发明人： Bischoff, Martin , Mewes, Stefan
IPC分类号： G02B5/08
CPC分类号： G02B5/0858
摘要： Ein für einen Wellenlängenbereich von 0,4 - 12 µm ausgelegtes reflektierendes optisches Bauteil weist ein Substrat 4, eine die freie Oberfläche des Bauteils bildende Schutzschicht 10 und eine zwischen dem Substrat 4 und der Schutzschicht 10 angeordnete Metallschicht 8 auf, wobei die Metallschicht aus Al und/oder Au und/oder Ag besteht und wobei die Schutzschicht 10 eine hohe Packungsdichte ≥ 0,95 aufweist.
摘要翻译： 反射性光学部件（2）包括基板（4），表现出高填充密度的保护层（10），优选> = 0.95，以及布置在基板和保护层之间的金属层（8）。
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公开(公告)号：EP2851716A1
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：EP14185616.1
申请日：2014-09-19
摘要： A laser-operated light source encompasses a chamber for accommodating a gaseous medium for generating a plasma, which emits radiation in response to the operation of the light source under the impact of the laser radiation. The light source encompasses a housing for accommodating the chamber. The invention provides for optical filter means, which are assigned to the housing and/or which are arranged downstream from the housing in the light path of emitted radiation. The optical filter means serve to spectrally filter the radiation emitted by the plasma in response to the operation of the light source.
摘要翻译： 激光操作光源包括用于容纳用于产生等离子体的气体介质的腔室，该等离子体在激光辐射的冲击下响应于光源的操作而发射辐射。 光源包括用于容纳腔室的壳体。 本发明提供了光学滤波器装置，其被分配给壳体和/或在发射辐射的光路中布置在壳体的下游。 光学滤波器装置用于响应于光源的操作对由等离子体发射的辐射进行光谱滤波。
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