专利检索 ap:("Relyon Plasma GmbH" OR "Epcos AG") AND inv:"HOPPENTHALLER, Florian" 第 1 页

1.

发明授权
VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES PLASMAS UND HANDGERÄT MIT DER VORRICHTUNG 有权

公开(公告)号：EP2948991B1

公开(公告)日：2019-05-01

申请号：EP14704656.9

申请日：2014-01-08

申请人： Relyon Plasma GmbH , Epcos AG

发明人： NETTESHEIM, Stefan , KORZEC, Dariusz , BURGER, Dominik , KÜGERL, Georg , PUFF, Markus , HOPPENTHALLER, Florian

IPC分类号： H01L41/107 , H05H1/24 , H01L41/312 , H01L41/053