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发明公开
VORRICHTUNG MIT EINEM ELEKTROKERAMISCHEM BAUTEIL 审中-公开

公开(公告)号：EP3803992A1

公开(公告)日：2021-04-14

申请号：EP19734502.8

申请日：2019-05-14

申请人： Relyon Plasma GmbH , TDK Electronics AG

发明人： NETTESHEIM, Stefan , FORSTER, Klaus , PUFF, Markus , PICHLER, Johann

IPC分类号： H01L41/053