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发明公开
MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开

公开(公告)号：EP3850419A1

公开(公告)日：2021-07-21

申请号：EP19759520.0

申请日：2019-08-20

申请人： Robert Bosch GmbH

发明人： SCHARY, Timo , BOESSENDOERFER, Ralf , DOESSEL, Kerrin , MIHALJEVIC, Josip , MUCHOW, Joerg , SCHATZ, Frank , RIEDRICH-MOELLER, Janine , EBERSPAECHER, Alexander

IPC分类号： G02B26/08 , H01L41/00