利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

3 条记录 (耗时 0.011 秒)

    Delivery device and method of use thereof
    2.
    发明公开
    Delivery device and method of use thereof 有权
    Abgabevorrichtung und Verfahren zu ihrer Verwendung

    公开(公告)号：EP2418300A3

    公开(公告)日：2013-03-20

    申请号：EP11176417.1

    申请日：2011-08-03

    申请人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC

    发明人： WOELK, Egbert ,  DiCARLO,, Ronald L. Jr.

    IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455

    CPC分类号： C23C16/4402 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4483 ,  C23C16/45591

    摘要： A delivery device comprises an inlet port and an outlet port. The delivery device comprises an inlet chamber and an outlet chamber, with the outlet chamber being opposedly disposed to the inlet chamber and in fluid communication with the inlet chamber via a conical section. The outlet chamber comprises a labyrinth that is operative to prevent solid particles of a solid precursor compound contained in the delivery device from leaving the delivery device while at the same time permitting vapors of the solid precursor compound to leave the delivery device via the outlet port.

    摘要翻译： 输送装置包括入口和出口。 输送装置包括入口腔室和出口腔室，出口腔室相对地设置在入口腔室上并通过锥形部分与入口腔室流体连通。 出口室包括迷宫，其可操作以防止包含在输送装置中的固体前体化合物的固体颗粒离开输送装置，同时允许固体前体化合物的蒸气经由出口离开输送装置。