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1.

发明授权
PROCEDE DE REALISATION D'UNE MEMBRANE MINCE 有权
标题翻译：制作薄膜

公开(公告)号：EP1114446B1

公开(公告)日：2010-04-14

申请号：EP00948075.7

申请日：2000-06-29

申请人： S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A.

发明人： ASPAR, Bernard , BRUEL, Michel , JAUSSAUD, Claude , LAGAHE, Chrystelle

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L21/2007