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发明授权
MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE WITH COMPENSATION OF ERRORS DUE TO DISTURBANCE FORCES, SUCH AS QUADRATURE COMPONENTS 有权

公开(公告)号：EP2963387B1

公开(公告)日：2019-07-31

申请号：EP15172600.7

申请日：2015-06-17

申请人： STMicroelectronics Srl

发明人： FALORNI, Luca Giuseppe , VALZASINA, Carlo , CARMINATI, Roberto , TOCCHIO, Alessandro

IPC分类号： G01C19/5733 , B81B3/00 , G01C19/5747 , G01C19/5712