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发明授权
Heating crucible and deposition apparatus using the same 有权
标题翻译：加热坩埚和其在沉积设备中使用

公开(公告)号：EP1433873B1

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：EP03254571.7

申请日：2003-07-22

申请人： Samsung Display Co., Ltd.

发明人： Keum, Ji Hwan , Ji, Chang Soon 103-1202 Gyeondong Cheonggu Town , Kim, Hyung Min , Namgoong, Sung Tae

IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/12

CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243