公开(公告)号：EP4423326A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22812517.5

申请日：2022-10-26

申请人： SaxonQ GmbH

发明人： PLENIO, Martin Bodo ,  BAEUERLE, Peter ,  MENA OSTERITZ, Elena ,  KREUZER, Franziska ,  MEIJER, Jan

IPC分类号： C30B29/04 ,  C23C14/48 ,  B82Y10/00 ,  G06N10/40 ,  H01L21/265 ,  C30B29/36 ,  C30B31/22 ,  C30B33/04 ,  C30B29/06

CPC分类号： C30B29/04 ,  C23C14/48 ,  B82Y10/00 ,  G06N10/40 ,  C30B29/06 ,  C30B29/36 ,  C30B33/04 ,  C30B31/22 ,  H01L21/0415