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1.发明公开Verfahren zur Herstellung grossformigen Einkristallen aus Calciumfluorid sowie deren Verwendung in der Fotolitographie 有权一种用于制备在光刻的氟化钙grossformigen单晶及其使用过程
公开(公告)号：EP1130136A1
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：EP01105178.6
申请日：2001-03-02
申请人： Schott Glas
发明人： Stäblein, Jörg , Weisleder, Andreas , Wehrhan, Gunther, Dr. , Speit, Burkhard, Dr. , Parthier, Lutz, Dr.
CPC分类号： C30B33/00 , C30B29/12 , Y10T117/10
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung von hochhomogenen, großformatigen, insbesondere bearbeiteten Einkristallen aus Calciumfluorid durch Tempern bei erhöhter Temperatur beschrieben, wobei der Kristall während des Temperns in einem mit einer Abdeckung versehenen Tempergefäß gelagert wird. Dabei wird in das Tempergefäß ein Calciumfluoridpulver eingebracht und zusammen mit dem Kristall mindestens zwei Stunden lang oberhalb 1150°C erwärmt.
摘要翻译： 提供了一种用于生产高度均匀，大尺寸，在通过在升高的温度下回火，其中所述晶体是在设置有盖的回火容器回火期间存储描述的氟化钙特定加工单晶的方法。 在这种情况下，在回火容器，氟化钙粉末引入并与晶体一起加热至少两小时以上1150℃
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2.发明授权Verfahren zur Herstellung grossformiger Einkristalle aus Calciumfluorid sowie deren Verwendung in der Fotolitographie 有权一种用于制备在光刻的氟化钙grossformiger单晶及其使用过程
公开(公告)号：EP1130136B1
公开(公告)日：2002-10-23
申请号：EP01105178.6
申请日：2001-03-02
申请人： Schott Glas
发明人： Stäblein, Jörg , Weisleder, Andreas , Wehrhan, Gunther, Dr. , Speit, Burkhard, Dr. , Parthier, Lutz, Dr.
CPC分类号： C30B33/00 , C30B29/12 , Y10T117/10
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