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1.发明授权CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION, COATED ARTICLE WHICH IS PROVIDED WITH ANTISTATIC FILM OBTAINED FROM CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION, AND PATTERN FORMING METHOD USING CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION 有权导电聚合物组合物，提供有从导电聚合物组合物获得的抗静电膜的涂覆制品，以及使用导电聚合物组合物的图案形成方法
公开(公告)号：EP2868698B1
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：EP13813440.8
申请日：2013-06-06
CPC分类号： H01B1/127 , C08K5/20 , G03F7/093 , G03F7/20 , G03F7/2059 , G03F7/2061
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2.发明公开CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION, COATED ARTICLE WHICH IS PROVIDED WITH ANTISTATIC FILM OBTAINED FROM CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION, AND PATTERN FORMING METHOD USING CONDUCTIVE POLYMER COMPOSITION 有权导电性聚合物组合物，用抗静电膜涂覆制品由导电聚合物组合物和结构的形成方法使用该组合物聚合物型导电
公开(公告)号：EP2868698A1
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：EP13813440.8
申请日：2013-06-06
CPC分类号： H01B1/127 , C08K5/20 , G03F7/093 , G03F7/20 , G03F7/2059 , G03F7/2061
摘要： The present invention is a conductive polymer composition containing a π-conjugated conductive polymer, a polyanion, and a gemini surfactant. There can be provided a conductive polymer composition that has excellent antistatic performance and excellent application properties, does not adversely affect a resist, and can be suitably used in lithography using electron beam or the like.
摘要翻译： 本发明是导电聚合物组合物，含有由一种共轭导电性高分子，聚阴离子，和双子表面活性剂。 可以提供一种导电性高分子组合物确实具有优异的抗静电性能和优异的施工性能，抗蚀剂不会产生不利的影响，并且可以在光刻使用电子束或等适合使用。
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