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发明公开
WAFER RECEIVER, ELECTROCHEMICAL POROSIFICATION APPARATUS AND METHOD USING SAME 审中-实审

公开(公告)号：EP4409623A1

公开(公告)日：2024-08-07

申请号：EP22871237.8

申请日：2022-09-27

申请人： Socpra Sciences et Génie s.e.c.

发明人： PROVOST, Philippe-olivier , BOUCHERIF, Abderraouf

IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02

CPC分类号： H01L21/6838 , H01L21/67126 , C25F3/12 , C25F7/00 , H01L21/3063