公开(公告)号：EP2985796B1

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：EP15170452.5

申请日：2015-06-03

申请人： TDK-Micronas GmbH

发明人： Baumann, Marc ,  Rubehn, Thilo ,  Joos, Christian ,  Stephan, Jochen

IPC分类号： H01L43/06 ,  G01R33/07

CPC分类号： H01L43/065 ,  G01R33/07 ,  H01L43/04

公开(公告)号：EP3089228B1

公开(公告)日：2019-11-27

申请号：EP16167008.8

申请日：2015-06-03

申请人： TDK-Micronas GmbH

发明人： Baumann, Marc ,  Rubehn, Thilo ,  Joos, Christian ,  Stephan, Jochen

IPC分类号： H01L43/06 ,  G01R33/07