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公开(公告)号:EP0580618A1
公开(公告)日:1994-02-02
申请号:EP92907005.0
申请日:1992-03-25
CPC分类号: H01L33/44 , B82Y10/00 , B82Y20/00 , H01L21/306 , H01L33/0004 , H01L33/0054 , H01L33/06 , H01L33/346 , Y10S977/95
摘要: Un dispositif en silicium électroluminescent (10) comporte une structure en silicium (12) qui comprend une couche en silicium en masse (14) ainsi qu'une couche de silicium poreuse (16). La couche poreuse (16) possède des pores (20) intégrés qui définissent des fils quantiques en silicium (18). Les fils quantiques (18) possèdent une couche de passivation de surface (22). La couche poreuse (16) présente des propriétés photoluminescentes sous irradiations ultraviolettes. La couche poreuse (16) est pénétrée par un matériau conducteur tel qu'un électrolyte (24) ou un métal (48). Le matériau conducteur (24) assure le passage continu d'un courant électrique à travers la couche poreuse (16); il ne dégrade pas la surface de passivation (22) des fils quantiques ce qui aurait pour effet de les rendre non-luminescents, et il injecte des porteurs minoritaires dans les fils quantiques. Une électrode (26) vient en contact avec le matériau conducteur (24) et la couche en silicium en masse possède un contact ohmique (28). Lorsqu'elle est polarisée, l'électrode (26) constitue l'anode et la structure en silicium (12) constitue le cathode. On observe alors le phénomène d'électroluminescence dans la zone visible du spectre.