公开(公告)号：EP2541364A4

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：EP10846546

申请日：2010-02-26

申请人： TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC IND SYSTEMS CORP ,  NAT INST ADVANCED IND SCIENCE & TECH

发明人： IKAWA EIICHI ,  FUJIWARA NAOKI ,  OOZEKI TAKASHI ,  LEE KYUNGSOO

IPC分类号： G05F1/67

CPC分类号： G05F1/67 ,  Y02E10/58

公开(公告)号：EP2626712A4

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：EP10858139

申请日：2010-10-07

申请人： TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC IND SYSTEMS CORP

发明人： IKAWA EIICHI ,  FUJIWARA NAOKI

IPC分类号： G01R31/00 ,  G01R31/02 ,  H01L31/02 ,  H01L31/04 ,  H02H3/18 ,  H02H7/20 ,  H02S50/10

CPC分类号： H02H3/18 ,  G01R31/025 ,  H01L31/02021 ,  H02H7/20 ,  H02J1/10 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/56 ,  Y10T307/696