公开(公告)号：EP2495357A8

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：EP11190813.3

申请日：2011-11-25

申请人： Technische Universität Dresden

发明人： Giebler, Eckart ,  Reich, Andy ,  Graefenhan, Wolfgang ,  Kramm, Ulrich ,  Hubert, Christian ,  Wendt, Thomas

IPC分类号： C25D21/12 ,  C23C18/16

CPC分类号： C25D21/12 ,  C23C18/1628 ,  C23C18/1655 ,  C23C18/1675 ,  C25D21/14 ,  C25F7/00 ,  G01G3/16

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen bei dem ein stabförmiger Sensor in longitudinale Schwingungen versetzt wird und aus der Auswertung der Verschiebung der Eigenfrequenz bei Masseänderung des Stabes ein zeitlicher Verlauf der abgeschiedenen oder abgetragenen Masse am Sensor fortlaufend ermittelt wird.

公开(公告)号：EP2495357A2

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：EP11190813.3

申请日：2011-11-25

申请人： Technische Universität Dresden

发明人： Giebler, Eckart ,  Reich, Andy ,  Graefenhan, Wolfgang ,  Kramm, Ulrich

IPC分类号： C25D21/12 ,  C23C18/16

CPC分类号： C25D21/12 ,  C23C18/1628 ,  C23C18/1655 ,  C23C18/1675 ,  C25D21/14 ,  C25F7/00 ,  G01G3/16

摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen bei dem ein stabförmiger Sensor in longitudinale Schwingungen versetzt wird und aus der Auswertung der Verschiebung der Eigenfrequenz bei Masseänderung des Stabes ein zeitlicher Verlauf der abgeschiedenen oder abgetragenen Masse am Sensor fortlaufend ermittelt wird.

摘要翻译： 在沉积过程中测量的速度，或除去表面的过程中，包括：（a）将在沉积的过程中的棒状传感器或切除搜索做了沉积或去除材料上的传感器的一部分的发生; （B）在离开棒状传感器以执行纵向振荡; （C）测量所述传感器杆调节振动; （D）调节在90通过激励频率的连续跟踪excitation-和接收器的振动之间的相位角[度]; 和（e）计算存在于传感器部分的层的质量的时间过程。 在沉积过程中测量的速度，或除去表面的过程中，包括：（a）将在沉积的过程中的棒状传感器或切除搜索做了沉积或去除材料上的传感器的一部分的发生; （B）在离开棒状传感器进行纵向振动，其中该激发频率与传感器几何形状被协调搜索没有驻波在杆设置在哪个振动中的激励点的节点和最大的 在杆尖纵向位移位于; （C）测量所述传感器杆调节振动; （D）在90 [度]所以没有传感器杆摆动以其自然频率调节由所述激励频率的连续跟踪excitation-和接收器的振动之间的相位角; 和（e）计算存在于在沉积或移除所述传感器部的层的质量的时间过程。 因此独立claimsoft包括一种用于在棒状传感器主体（101），其具有一个传感器头（102）和传感器顶端（105），其中的形式进行上述提到的方法，其包括传感器的装置 元件（103）设置在传感器头用于生产压电或磁致伸缩纵向振动和一个换能器（104）上被耦合用于传感器的自生振动的反馈测量。 传感器尖端具有用于层沉积或层去除一个有限的表面。 传感器表面的其余部分被设计检查确实没有分离或没有侵蚀的发生。 本发明提供一种联接控制装置，其通过改变励磁频率控制的90 [度]的激发和接收器的振动之间的相位角，并通过单元，用于处理信息，其计算的质量变化或材料去除或沉积的速度连续 从激励频率的过程。