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公开(公告)号:EP3482421B1
公开(公告)日:2020-05-13
申请号:EP17737264.6
申请日:2017-07-07
发明人: EVIRGEN, Axel , REVERCHON, Jean-Luc
IPC分类号: H01L31/109
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公开(公告)号:EP3482421A1
公开(公告)日:2019-05-15
申请号:EP17737264.6
申请日:2017-07-07
发明人: EVIRGEN, Axel , REVERCHON, Jean-Luc
IPC分类号: H01L31/109
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公开(公告)号:EP4289008A2
公开(公告)日:2023-12-13
申请号:EP22706740.2
申请日:2022-02-01
IPC分类号: H01L31/0304 , H01L31/0352 , H01L31/036 , H01L31/103 , H01L31/105
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公开(公告)号:EP4268285A1
公开(公告)日:2023-11-01
申请号:EP21820238.0
申请日:2021-11-26
发明人: EVIRGEN, Axel , REVERCHON, Jean-Luc
IPC分类号: H01L31/0304 , H01L31/0352 , H01L31/101 , H01L31/18 , H01L27/146 , B82Y20/00 , H01L21/02 , H01L31/105
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