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公开(公告)号:EP3577696A1
公开(公告)日:2019-12-11
申请号:EP18744370.0
申请日:2018-01-30
发明人: TAN, Hairen , LAN, Xinzheng , YANG, Zhenyu , HOOGLAND, Sjoerd , SARGENT, Edward
IPC分类号: H01L31/04
公开(公告)号:EP3577696A1
公开(公告)日:2019-12-11
申请号:EP18744370.0
申请日:2018-01-30
发明人: TAN, Hairen , LAN, Xinzheng , YANG, Zhenyu , HOOGLAND, Sjoerd , SARGENT, Edward
IPC分类号: H01L31/04