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发明公开
OPTICAL GRID FOR HIGH PRECISION AND HIGH RESOLUTION METHOD OF WAFER SCALE NANOFABRICATION 审中-公开
标题翻译：光学网格的制备纳米半导体晶圆尺寸精度高，高分辨率处理

公开(公告)号：EP2340148A4

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：EP09813558

申请日：2009-09-09

申请人： UNIV CORNELL

发明人： LAL AMIT , YOSHIMIZU NORIMASA

IPC分类号： B23Q17/09

CPC分类号： G01B11/25 , G01B11/2518 , G01Q40/02 , G01Q80/00 , G03F7/70383 , G03F7/7085