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1.发明公开Verfahren zur Förderung von Chemikalienlösungen in der Halbleiterindustrie sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens 失效运输化学品解决方案，特别是半导体行业的工艺和安装过程
公开(公告)号：EP0513428A3
公开(公告)日：1993-03-03
申请号：EP91109214.6
申请日：1991-06-06
申请人： Uhde GmbH
CPC分类号： B01J4/00
摘要： Mit einem Verfahren zur Förderung von Chemikalienlösungen, insbesondere in der Halbleiterindustrie, aus Vorratsbehältern (1) od. dgl. zum jeweiligen Einsatzort (30) mit Pumpen (9,20) und Ventilen (15,26) soll eine Lösung geschaffen werden, mit der die Chemikalienlösung aus dem transportablen Behälter auf möglichst einfache Weise schonend zum jeweiligen Einsatzort gefördert werden kann, so daß die Chemikalienlösung den Einsatzort ohne durch die Förderung bedingte Verunreinigungen erreicht. Dies wird dadurch erreicht, daß die Chemikalienlösung mit strömungsmechanisch kraftbetriebenen Pumpen und Ventilen zum jeweiligen Einsatzort gefördert wird.
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2.发明授权Verfahren zur Förderung von Chemikalienlösungen in der Halbleiterindustrie sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens 失效一种用于促进半导体行业化学溶液以及植物对实施该方法的方法。
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3.发明公开Verfahren zur Förderung von Chemikalienlösungen in der Halbleiterindustrie sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens 失效为实施该方法促进化学溶液的方法，尤其是在半导体行业以及植物。
公开(公告)号：EP0513428A2
公开(公告)日：1992-11-19
申请号：EP91109214.6
申请日：1991-06-06
申请人： Uhde GmbH
CPC分类号： B01J4/00
摘要： Mit einem Verfahren zur Förderung von Chemikalienlösungen, insbesondere in der Halbleiterindustrie, aus Vorratsbehältern (1) od. dgl. zum jeweiligen Einsatzort (30) mit Pumpen (9,20) und Ventilen (15,26) soll eine Lösung geschaffen werden, mit der die Chemikalienlösung aus dem transportablen Behälter auf möglichst einfache Weise schonend zum jeweiligen Einsatzort gefördert werden kann, so daß die Chemikalienlösung den Einsatzort ohne durch die Förderung bedingte Verunreinigungen erreicht.
Dies wird dadurch erreicht, daß die Chemikalienlösung mit strömungsmechanisch kraftbetriebenen Pumpen und Ventilen zum jeweiligen Einsatzort gefördert wird.摘要翻译： 一种用于在半导体工业中输送化学品的溶液，在particulare，从库存容器或类似物的特定地方，它是被使用，通过泵和阀的手段方法中，是提供一种方法，通过该化学品的溶液 被从移动容器以最简单的方式被输送，充分护理，特定地方，它是被使用，以便做化学品的溶液可以达到它在哪里没有污染由引起将要使用的地方 运输。 这是通过液压驱动的泵和阀门，以运送化学品的溶液中的特定地方，它是用来实现。 附件是要发布的单个图形。
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